当采用机器回填时，其工艺流程为：基坑地坪清理—检验土质—分层铺土—分层碾压夯实—检验密实度—修整找平验收。

　　（1）填土前，应将基土上的洞穴或基底表面上的树根、垃圾等杂物都处理完毕，清理干净。

　　（2）检验土质。检验回填土料的种类、粒径、有无杂物是否符合规定，以及土料的含水量是否在控制范围内。如含水量偏高，可采用翻松、晾晒或均匀参入千土等措施。如遇填料含水量偏低，可采用预先洒水润湿等措施。

　　（3）填土应分层铺摊，每层铺土的厚度应根据土质、密实度要求和机具性能确定。

　　（4）碾压机械压实填方的，应控制行驶速度，一般不应超过以下规定：平碾2㎞／h；羊足碾3㎞／h；振动碾2㎞／h。

　　（5）碾压时，轮（夯)迹应相互搭接，防止漏压或漏夯，长宽比较大时，填土填土应分段进行，每层接缝处应做成斜坡形，碾迹重叠0.5—1.0m左右，上下层储缝距离不应小于1m。

　　（6）填方超过基地表面时，要保证边缘部位的压实质量。填土后，如设计不要求边坡修整,宜将填土边缘宽填写0.5m如设计要求边坡修平拍实，宽填可为0.2m。

　　（7）在机器施工碾压不到的填土部位，应配合人工推土填实，用蛙式或柴油打夯机分层打密实。

　　（8）回填土方每层压实后，应按规范规定进行环刀取样，测出于土的质量密度，达到要求后。在进行上一层的铺土。

　　（9）填土全部完成后，表面应进行拉线找平，凡超过标准高程的地方，及时依线铲平，凡低于标准高程的地方，应补土找平夯实。

　　（10）雨﹑冬期施工：首先，雨期施工的填方工程。应连续进行尽快完成；工作面不宜过大，应分段分层逐片进行。重要或特殊的土方回填，就尽量在雨期前完成；其次，雨期施工时，应有防雨措施或方案，要防止地面水流入基坑和地坪内，以免边坡塌方或基土遭到破坏；第三，填方工程不宜在冬期施工。如必须在冬期施工时，冬期施工方法需经过技术经济比较后确定；冬期填方前，应汪除基底上的冰雪或保温材料 ；第四，距离边坡表层1m以内不得用冻土填筑；填方上层应用未冻﹑不冻胀或透水性好的土料填筑，其厚度应符合设计要求；第五，冬期施工室外平均气温在-5℃以上时，填方高度不受限制；平均温度在-5℃以下时，填方高度不宜超过表2规定。但用石块和不含冰块的沙土（不包括粉砂），碎石类土填筑时，可不受表内填方高度限制。

　　冬期回填土方，每层铺筑厚度应比常温施工时减少20%—25%，其中冻土块体积不得超过填方总体积的15%；其粒径不得大于150㎜。铺冻土块要均匀分布，逐层压（夯）实。回填土方的工作应连续进行，防止基土或已填方土层受冻。并且要及时采取防冻措施。

　　（1）回填土杂质多，基底没清理干净，应使土源符合设计要求，填土前进行检查，合格后再回填。

　　（2）未按要求测定干土的重力密度，回填每层都应测定夯实后的干土重力密度，检验其压实系数和压实范围，符合设计要求后才能铺摊上层土。

　　（3）回填土下沉，应未按要求控制含水量，未按规定分层夯实、取样或因虚铺超过超过规定厚度或冬施工地有较大冻块，夯实不够遍数，以及冬期作散水、施工用水参入垫层中，受冻膨胀等造成。

　　（4）管道下部夯填不实，管道下部应按要求填夯回填土，漏夯或不实造成管道下方空虚，易造成管道折断、渗漏。

　　（5）未按要求测定土的干土质量密度，回填土每层都应测定夯实后的干土质量密度，符合要求后才能铺摊上层土。

　　（6）回填土下沉，应虚铺土超过规定厚度或冬期施工时有较大的冻土块，或夯实不够遍数，甚至漏夯，基底有机物或树根、落土等杂物清理不彻底等原因，造成回填土下沉。为此，应在施工中认真执行规范的有关的规定，并要严格检查，发现问题及时纠正。

　　（7）回填土夯实不密实：应在夯压时对干土适当洒水以湿润；如何填土同样夯不实呈“橡皮土”现象，这时应将“橡皮土”挖出，重新换好土再予以夯压实。

　　（8）回填管沟时，为防止管道中心线位移或损坏管理，应有人工先在管子周围填土夯实，并应从管道俩边同时进行，直至管顶0.5m以上，在不损坏管道的情况下，方可采用机器回填和压实。